用于减少条纹图案的方法和装置

摘要

用于减少条纹图案的方法包括从经过激光退火的背照式图像传感器晶圆的背面接收散射光信号；基于该散射光信号生成背面图像；确定经过激光退火的背照式图像传感器晶圆的传感器阵列的边缘和相邻的激光束边界之间的距离；以及如果该距离小于预定值，重新校准激光束。本发明还提供用于减少条纹图案的装置。

主权项

一种用于减少条纹图案的方法，包括：在晶圆中注入传感器；施加激光束以退火所述晶圆，其中，所述激光束的边界尺寸大于由多个传感器形成的传感器阵列的边界尺寸；施加入射光至所述晶圆的表面；接收来自所述入射光的散射光信号；基于所述散射光信号生成表面图像；确定所述晶圆的所述传感器阵列的边缘和相邻的激光束边界之间的距离；以及如果所述距离小于预定值，则重新校准所述激光束。