| 发明名称 | 用于多晶硅片制绒的添加剂及其应用方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于多晶硅片制绒的添加剂及应用该添加剂进行制绒的方法，所述添加剂包括以下组分：高分子羧酸、小分子有机酸、非离子表面活性剂和水；其中高分子羧酸与水的重量比为0.5~5:100，小分子有机酸与水的重量比为1~10:100，非离子活性剂与水的重量比为0.01~1:100。使用本发明的添加剂进行制绒，可以提升绒面的均匀性，进而降低多晶硅片反射率，而且不会出现硅片表面污染和绒面内部多孔硅等副作用。 | ||
| 申请公布号 | CN106222755A | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201610867760.1 | 申请日期 | 2016.09.30 |
| 申请人 | 杭州飞鹿新能源科技有限公司 | 发明人 | 夏庆华;斯小阳;姚伟明 |
| 分类号 | C30B33/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人 | 冯燕青 |
| 主权项 | 用于多晶硅片制绒的添加剂，其特征在于，所述添加剂包括以下组分：高分子羧酸、小分子有机酸、非离子表面活性剂和水；其中高分子羧酸与水的重量比为0.5~5:100，小分子有机酸与水的重量比为1~10:100，非离子活性剂与水的重量比为0.01~1:100。 | ||
| 地址 | 310000 浙江省杭州市滨江区江二路400号和瑞科技园T1-316 | ||