真空阀

摘要

实施方式的真空阀具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置有连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。

主权项

一种真空阀，具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。