| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치는, 광을 발생시키는 광원계, 상기 광을 조절하고 패터닝하는 광학계, 상기 패터닝된 상기 광으로 기판에 대해 노광 공정을 수행하는 기판계, 그리고 상기 광원계, 상기 광학계, 그리고 상기 기판계를 제어하는 제어부를 포함하되, 상기 광학계는 챔버, 상기 챔버 내에 배치되어 상기 광을 조절하는 반사 부재, 그리고 상기 기판계와 대향되는 상기 챔버의 일측에 배치된 제 1 개폐 밸브를 포함하되, 상기 제어부는, 상기 노광 공정을 진행할 때 상기 제 1 개폐 밸브를 열고, 상기 챔버 내에 대해 세정 공정을 진행할 때 상기 제 1 개폐 밸브를 닫도록 상기 광학계를 제어한다. |
