| 摘要 |
방법은, 다수의 타입들의 재료들로 이루어진 샘플의 표면을 일차 전자들의 빔으로 조사하는 단계를 포함한다. 조사된 샘플로부터 방출되는 방출된 전자들은, 각각의 검출기 출력들을 생성하기 위해, 상기 샘플에 대하여 각각의 상이한 위치들에 위치된 다수의 검출기들을 사용하여 검출된다. 교정 인자들은, 재료들의 타입들 사이에서의 방출된 전자 방출량의 변동들을 보상하기 위해, 각각의 재료 타입에 대해, 재료 타입으로 이루어진 표면 상의 하나 또는 그 초과의 수평 구역들을 식별하고, 식별된 수평 구역들에서의 검출기 출력들 중 적어도 하나에 기초하여, 재료 타입에 대해 교정 인자를 컴퓨팅함으로써, 컴퓨팅된다. 교정 인자들은 검출기 출력들에 인가된다. 표면의 3차원 지형 모델은, 교정 인자들이 적용된 검출기 출력들에 기초하여 계산된다. |
