RF DC CAPACITOR ASSEMBLIES FOR COUPLING RADIO FREQUENCY RF AND DIRECT CURRENT DC ENERGY TO ONE OR MORE COMMON ELECTRODES

摘要

전극에 무선 주파수(RF) 및 직류(DC) 전력을 커플링시키기 위한 캐패시터 어셈블리, 및 이러한 캐패시터 어셈블리를 포함하는 기판 지지부의 실시예들이 본원에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 캐패시터 어셈블리는, RF 전력 소스로부터 RF 전력을 수신(receive)하기 위한 제 1 전도성 플레이트 ― 제 1 전도성 플레이트는 중앙 보어(central bore)를 포함함 ― ; 제 1 전도성 플레이트에 커플링되며 중앙 보어를 둘러싸는 적어도 하나의 캐패시터; 및 적어도 하나의 캐패시터를 통해 제 1 전도성 플레이트에 전기적으로 커플링되는 제 2 전도성 플레이트를 포함하며, 제 2 전도성 플레이트는, DC 전력 소스로부터 DC 전력을 수신하기 위한 입력 탭(input tap) 및, RF 및 DC 전력을 전극에 커플링시키기 위한 적어도 하나의 출력 탭(output tap)을 포함한다.