发明名称 鉛フリーC4相互接続の信頼性を改善するための方法
摘要 Controlled collapse chip connection (C4) structures and methods of manufacture, and more specifically to structures and methods to improve lead-free C4 interconnect reliability. A structure includes a ball limited metallization (BLM) layer and a controlled collapse chip connection (C4) solder ball formed on the BLM layer. Additionally, the structure includes a final metal pad layer beneath the BLM layer and a cap layer beneath the final metal pad layer. Furthermore, the structure includes an air gap formed beneath the C4 solder ball between the final metal pad layer and one of the BLM layer and the cap layer.
申请公布号 JP6043466(B2) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 JP20100157590 申请日期 2010.07.12
申请人 ウルトラテック インク 发明人 ティモシー・ハリソン・ドーバンスペック;ジェフリー・ピー・ガンビーノ;ウォルフガング・ソーター;クリストファー・デービッド・マジー;デービッド・エル・クエスタッド;ティモシー・ドーリング・サリバン;ポール・フォティア
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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