发明名称 Method for Measuring Thickness of Layer in Image Sensor and Pattern Therefor
摘要
申请公布号 KR100853788(B1) 申请公布日期 2008.08.25
申请号 KR20060117374 申请日期 2006.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L27/146;H01L21/66 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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