发明名称 |
用于衬底涂覆的气垫设备和技术 |
摘要 |
能够在衬底上提供涂层。所述涂层的制造能够包括:在使用气垫在涂覆系统中支撑衬底的同时,在衬底的指定区域中形成固体层。例如,在由气垫支撑衬底的同时,能够在指定区域上打印液体涂层。在已打印带图案的液体之后,能够固持衬底指定的持续时间。在使用气垫支撑衬底的同时,能够将衬底输送到处理区。能够处理液体涂层以提供固体层,包括继续使用气垫支撑衬底。 |
申请公布号 |
CN106233449A |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201580023550.8 |
申请日期 |
2015.04.27 |
申请人 |
科迪华公司 |
发明人 |
A.S-K.高;J.莫克;E.弗伦斯基;C.F.马迪根;E.拉比诺维奇;N.哈吉;C.布赫纳;G.路易斯 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
成城;张昱 |
主权项 |
一种在衬底上提供涂层的方法,所述方法包括:将衬底转移到涂覆系统,所述涂覆系统被配置成在所述衬底的第一侧上的指定区域中提供固体层,所述固体层覆盖所述衬底的至少一部分;使用气垫在所述涂覆系统中支撑所述衬底,所述气垫被提供到所述衬底的与所述指定区域相对的第二侧;将液体涂层打印在所述衬底的所述指定区域上,并且其中在由所述气垫支撑所述衬底的同时,所述衬底位于使用打印系统的打印区中;将所述衬底输送到处理区,包括继续使用所述气垫支撑所述衬底;以及在所述涂覆系统中处理所述液体涂层,以在所述指定区域中在所述衬底上提供所述固体层,包括继续使用所述气垫支撑所述衬底。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |