位置测量设备以及标尺和用于制造标尺的方法

摘要

位置测量设备以及标尺和用于制造标尺的方法。本发明涉及具有可电感式扫描的标尺（1）的位置测量设备。该位置测量设备具有用于扫描标尺（1）的分度元件（12）的扫描单元（2），为此扫描单元（2）具有用于生成电磁交变场的激励单元（2）和用于探测与分度元件（12）位置有关地调制的电磁交变场的探测器单元（22）。标尺（1）由优选通过冷轧覆层提供的层堆叠（10）构成，该层堆叠（10）具有决定性地确定标尺（1）的机械特性的衬底（103）、由具有高磁导率的铁磁金属构成的支承体层（102）以及位于其上的形成分度元件（12）的分度层（101），该分度层由良好导电的材料构成。

主权项

一种具有能电感式扫描的分度的标尺，所述分度由布置在测量方向（X）上的、彼此间隔开的导电分度元件（12）的序列构成，所述分度元件（12）被构造为使得能够在分度元件（12）中分别形成涡流，所述涡流在扫描时对从扫描单元（2）发出的激励场产生反作用，其中所述标尺（1，1.1）包括层堆叠（10，10.1），所述层堆叠（10，10.1）由金属层（101，102，103，104）的序列构成，并且金属层（101，102，103，104）的所述序列具有至少一个支承体层（102）和形成分度元件（12）的分度层（101），其特征在于，支承体层（102）布置在分度层（101）与金属衬底（103）之间，其中衬底（103）的尺寸被确定为使得所述衬底决定性地确定层堆叠（10，10.1）的机械特性，并且支承体层（102）是铁磁金属。