一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统

摘要

本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用缓冲区的数据，以及对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明实施例提供的晶圆检测信号提取装置及系统，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确。

主权项

一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，其特征在于，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将所述晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将所述数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用所述缓冲区的所述数据，以及对所述缓冲区的所述数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将所述时域信号及所述频域信号合并判断后上传至上位机。