发明名称 |
芯片自动检测装置 |
摘要 |
本实用新型属于集成电路芯片生产加工检测技术领域,公开了一种芯片自动检测装置,包括工作台、设置在所述工作台中间的机器人、控制模块,所述工作台的四周分别设置料仓和多个芯片检测盒,在所述料仓侧边通过相机支架设置视觉相机,所述料仓包括上料仓和下料仓,在所述料仓靠近所述机器人的一侧为上料工位,在所述上料工位的侧边设置废料盒。本实用新型实现了对芯片的检测的自动化,检测效率高,减少了人工干预带来的不利因素。 |
申请公布号 |
CN205809237U |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201620014883.6 |
申请日期 |
2016.01.08 |
申请人 |
上海恒浥智能科技股份有限公司 |
发明人 |
任宁 |
分类号 |
G01R31/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/28(2006.01)I |
代理机构 |
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 |
代理人 |
翟羽 |
主权项 |
一种芯片自动检测装置,其特征在于:包括工作台、设置在所述工作台中间的机器人、控制模块,所述工作台的四周分别设置料仓和多个芯片检测盒,在所述料仓侧边通过相机支架设置视觉相机,所述料仓包括上料仓和下料仓,在所述料仓靠近所述机器人的一侧为上料工位,在所述上料工位的侧边设置废料盒。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼A661-16室 |