| 摘要 |
본 발명은 복수의 공급원에서 공급되는 유체를 유통시키는 유로를 갖는 유닛과 복수의 공급처에 유체를 공급하는 유로를 갖는 유닛을 별개로 교환 가능하게 하는 것이다. 본 발명은 제1 방향을 따라 유체를 유통시키는 복수의 제1 유로를 갖는 제1 유체 유닛(10)과, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 유체를 유통시키는 복수의 제2 유로를 갖는 제2 유체 유닛(20)과, 복수의 제1 유로와 복수의 제2 유로가 교차하는 복수의 위치의 각각 배치되는 복수의 개폐밸브(30)를 구비하고, 제1 유체 유닛(10) 및 제2 유체 유닛(20)은, 복수의 위치의 각각에서 제1 유로의 복수의 개소에 형성된 유출구와 제2 유로의 복수의 개소에 형성된 유입구가 연결되도록 배치되어 있는 유체기기(100)를 제공한다. |
