发明名称 マイクロ波プラズマ化学気相成長装置
摘要 An apparatus for growing diamonds, the apparatus comprising: one or more chambers, each chamber is in fluid connection with one or more other chambers, each chamber comprising one or more substrate stage assembly within the chamber to support a substrate stage having a plurality of diamond seeds disposed thereon.
申请公布号 JP6046237(B2) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 JP20150505687 申请日期 2013.04.12
申请人 トゥーエイ テクノロジーズ プライベート リミテッド 发明人 ミスラ デヴィ シャンカー
分类号 C23C16/27;C23C16/455;C23C16/511;C30B29/04 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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