METHOD FOR GROWING THIN FILM IN SEMICONDUCTOR AND THE SAME GROWN BY IT

摘要

본 발명은 반도체 박막 성장 방법 및 이에 의해 성장된 반도체의 박막에 관한 것이다. 제1극성 및 제2극성을 가지는 반도체에 대하여, 단일의 제1극성의 반도체 박막을 성장하기 위한, 본 발명의 반도체 박막 성장 방법은, 기판상에 상기 제1극성 및 제2극성-소정의 식각에 대하여 식각률이 상이함-의 반도체의 성장을 수행하고, 상기 소정의 식각을 수행하여, 상기 제2극성의 반도체를 식각하고, 상기 제1극성의 반도체의 수평재성장을 수행한다.