| 发明名称 | 内表面具有刻面的固定环 | ||
| 摘要 | 固定环包括大体环状主体。该主体包括顶表面、底表面、外表面及内表面，该外表面在外顶部周边处与顶表面连接及在外底部周边处与底表面连接，该内表面在内顶部周边处与该顶表面连接及在内底部周边处与底表面连接。内表面包含七或七个以上的平坦刻面。邻近的平坦刻面于角(corner)处连接。内底部周边包含于角处连接的平坦刻面的直边。 | ||
| 申请公布号 | CN106233431A | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201580021182.3 | 申请日期 | 2015.04.15 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 吴正勋;史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·沙善·丹达瓦特 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种固定环，所述固定环包括：大体环状主体，包含顶表面；底表面；外表面，所述外表面在外顶部周边处与所述顶表面连接且在外底部周边处与所述底表面连接；及内表面，所述内表面在内顶部周边处与所述顶表面连接且在内底部周边处与所述底表面连接，所述内表面包含七或七个以上的平坦刻面，邻近的平坦刻面于角处连接，并且所述内底部周边包含于所述角处连接的所述平坦刻面的直边。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||