发明名称 |
单晶炉熔料时间缩短装置及方法 |
摘要 |
本发明涉及单晶炉熔料时间缩短装置及方法,单晶炉熔料时间缩短装置包括石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面上绕有感应线圈,所述感应线圈具有电路接线端。单晶炉熔料时间缩短方法,包括单晶炉、装有硅料的石英坩埚、加热装置、单晶炉熔料时间缩短装置,在熔料开始时,打开加热装置,并且接通感应线圈,待硅料融化后,关闭感应线圈。通过在石墨坩埚的外表面上绕感应线圈,可以在开始熔化硅料的时候,将感应线圈通电,与现有的单晶炉内的加热装置一起对硅料进行加热,提高加热效率,缩短硅料融化时间,提高单晶棒的生产效率。 |
申请公布号 |
CN106222746A |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201610905601.6 |
申请日期 |
2016.10.17 |
申请人 |
宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
发明人 |
潘永娥 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
唐清凯 |
主权项 |
一种单晶炉熔料时间缩短装置,其特征在于:包括石墨坩埚,所述石墨坩埚的外表面上绕有感应线圈,所述感应线圈具有电路接线端。 |
地址 |
755099 宁夏回族自治区中卫市中卫工业园 |