激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法

摘要

一种基于激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法，其特征在于当准直的激光束聚焦到非线性材料时，诱导出材料的非线性特性。由于激光强度的高斯分布特点，使激光中心区域的能量最高，并沿着径向逐渐减弱，激光能量转化为材料的温度差，从而在非线性材料内部诱导产生瞬态热探针。在光刻过程中，激光束打开，热探针形成；激光束关闭，热探针消失。形成的热探针随着激光束自由移动，热探针的形成与关闭是动态的、可逆的。本发明简单实用，不需要复杂的操作，特别适用于透明材料的微纳结构制造，能获得纳米尺度的特征线宽。

主权项

一种激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法，其特征在于该方法包括以下几个步骤：a)在基片上用磁控溅射的方法镀上一层热刻蚀薄膜；b)在所述的热刻蚀薄膜上再镀上一层非线性薄膜构成待刻样品；c)利用激光直写系统对所述的待刻样品的热刻蚀薄膜进行纳米光刻；d)对待刻样品进行湿法刻蚀，去除所述的非线性薄膜；e)对待刻样品进行湿法显影得到具有所需的纳米结构的样品。