有機ルテニウム化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法

摘要

【課題】ルテニウム・ルテニウム化合物薄膜製造のための化学蒸着用原料で、低温成膜に対応でき、酸素ガスを使用せずにルテニウム薄膜を製造可能な原料の提供。【解決手段】化学蒸着法によりルテニウム薄膜又はルテニウム化合物薄膜を製造するための化学蒸着用原料において、次式で示される、ルテニウムに２つのジアザジエン配位子、及び、２つのアルキル配位子が配位した有機ルテニウム化合物からなる化学蒸着用原料。（Ｒ１〜８はＨ又はＣ１−４の炭化水素基；Ｒ１〜４又は、Ｒ５〜８の各々が２つ以上で環状構造を形成しても良い；Ｒ９及びＲ１０はＣ１−３のアルキル基）【選択図】図１