| 发明名称 | 电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置和分析方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶、冷却盘管、取样瓶和真空发生器，所述的砷烷钢瓶的瓶阀通过管路连接设于冷阱中的冷却盘管的一端，冷却盘管的另一端通过管路连接取样瓶的入口，取样瓶的出口连接第五隔膜阀，第五隔膜阀连接真空发生器的入口，真空发生器的出口连接尾气处理系统；砷烷钢瓶的瓶阀与冷却盘管之间的管路连接吹扫气体管路。本发明利用冷阱取液态砷烷样品然后汽化挥发的方法，金属杂质残留在PFA样品瓶底，再加入硝酸溶液溶解后，最终以ICP‑MS进样检测，解决了电子级砷烷中金属杂质含量的分析检测问题，检测限可低至ppt级。 | ||
| 申请公布号 | CN106226138A | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201610710162.3 | 申请日期 | 2016.08.23 |
| 申请人 | 上海正帆科技股份有限公司 | 发明人 | 周庆美;李东升 |
| 分类号 | G01N1/28(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人 | 翁若莹;王婧 |
| 主权项 | 一种电子级砷烷中痕量金属杂质含量的取样装置，其特征在于，包括样品管路和吹扫气体管路，所述的样品管路包括砷烷钢瓶(2)、冷却盘管(15)、取样瓶(18)和真空发生器(10)，所述的砷烷钢瓶(2)的瓶阀通过管路连接设于冷阱(16)中的冷却盘管(15)的一端，冷却盘管(15)的另一端通过管路连接取样瓶(18)的入口，取样瓶(18)的出口连接第五隔膜阀(20)，第五隔膜阀(20)连接真空发生器(10)的入口，真空发生器(10)的出口连接尾气处理系统；砷烷钢瓶(2)的瓶阀与冷却盘管(15)之间的管路连接吹扫气体管路。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区莘庄工业区春中路56号 | ||