发明名称 一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置
摘要 本实用新型涉及一种芯片生产装置,具体涉及一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。该装置能使显微镜位置稳定,减少震动、焦距稳定,保证芯片的抽检效果。
申请公布号 CN205809403U 申请公布日期 2016.12.14
申请号 CN201620674447.1 申请日期 2016.06.30
申请人 成都先进功率半导体股份有限公司 发明人 宁高荣;邓海昕;江正发;龚启宏
分类号 G02B21/24(2006.01)I 主分类号 G02B21/24(2006.01)I
代理机构 四川力久律师事务所 51221 代理人 王芸;熊晓果
主权项 一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,其特征在于,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。
地址 611731 四川省成都市高新区西区高新综合保税区B区科新路8-88号