一种气体自动控制系统

摘要

本专利公开了一种气体自动控制系统，包括单向止回阀、质量流量计、三向阀、排气阀、电阻加热丝、热电偶、温度模块、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器、PLC控制模块、电源模块；本专利对气路管道进行了合理的设计，对气体的压力及质量流量可以达到非常高的精度控制，并且可以对气体进行加热；同时本气体控制管道集成了多种功能，使得采集的数据不但可以上传到电脑，还可以提供给多种设备进行分析使用，提高数据的利用率，设计简单，适合推广使用。

主权项

一种气体自动控制系统，包括单向止回阀、质量流量计、三向阀、排气阀、电阻加热丝、热电偶、温度模块、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器、PLC控制模块、通讯模块、电源模块；其特征在于：所述单向止回阀的一端连接进气口1，所述单向止回阀的另一端连接第一气体压力传感器输入端，所述第一气体压力传感器的一个输出端连接质量流量计的输入端，所述质量流量计的另一个输出端连接三向阀的输入端，所述三向阀输出端连接容器；所述三向阀的另一输入端连接进气口2；所述三向阀输出端连接容器；所述电阻加热丝安装在三向阀与容器输送气体管路外壁上；所述热电偶安装在与电阻加热丝对应位置管道内壁上；所述排气阀的输入端连接容器，输出端连接第二气体压力传感器的一个输入端；所述第二气体压力传感器的输出端连接气体排气口；所述PLC控制中的模块数字量输入/输出和模拟量输入/输出模块、通讯模块通过Modbus数据连接线分别与电磁阀、质量流量计、压力传感器、热电偶、温度模块、上位机HMI还与电源模块相连。