一种偏转镜的微振动平台

摘要

本发明涉及一种偏转镜的微振动平台，包括底座，所述底座上设有支座；四个支撑机构，设置在所述支座上并以其中心均匀分布；四个促动机构，分别与各支撑机构连接；四个二级放大机构，分别连接各支撑机构与促动机构；安装板，设置在各所述促动机构端部上，用于安装偏转镜。本繁忙通过二级放大机构，对压电陶瓷输出的位移进行两次放大，大大增大了偏转镜的偏转角度，避免了光路被机械结构阻挡；柔性铰链采用多层薄片状的柔性单元，可以满足偏转镜在不同方向上的柔性需要，且与偏转镜的连接处采用柱状的结构不会产生拉扯和形变，确保了偏转角度。

主权项

一种偏转镜的微振动平台，其特征在于：包括‑底座，所述底座上设有支座；‑四个支撑机构，设置在所述支座上并以其中心均匀分布；‑四个促动机构，分别与各支撑机构连接；‑四个二级放大机构，分别连接各支撑机构与促动机构；‑安装板，设置在各所述促动机构端部上，用于安装偏转镜。