一种扩散炉喷淋进气管

摘要

本实用新型公开了一种扩散炉喷淋进气管，包括喷淋进气管，所述喷淋进气管上设有喷淋孔，所述喷淋进气管的外周设有用于与扩散炉炉体管之间密封连接的球碗，所述喷淋进气管上自球碗向喷淋进气管尾部方向设有至少一个“十”字形气孔，所述“十”字形气孔包括4个贯穿于所述喷淋进气管管体的直孔，所述直孔均位于喷淋进气管的同一横截面上，相邻所述直孔的孔心轴之间的夹角为90°。本实用新型在喷淋进气管上设“十”字形气孔，在整个使用周期内，始终有微量的工艺气体对管尾进行吹扫，以是的管尾气体保持有气体隔离管内高温工艺气体，从而达到降低或避免偏磷酸冷凝堆积的目的，最终提高石英件的寿命。

主权项

一种扩散炉喷淋进气管，所述喷淋进气管的外周设有用于与扩散炉炉体管之间密封连接的球碗（2），其特征在于：所述喷淋进气管上自球碗向喷淋进气管尾部方向设有至少一个“十”字形气孔（3），所述“十”字形气孔（3）由4个贯穿于所述喷淋进气管管体的直孔（5）组成，所述直孔（5）均位于喷淋进气管的同一横截面上，且相邻所述直孔（5）的孔心轴之间的夹角为90°。