Methods of manufacturing pellicle assembly and photomask assembly including the same

摘要

펠리클 조립체를 제조하기 위하여, 습식 분위기 하에서 반송막 상에 탄소 함유 박막을 부착한다. 탄소 함유 박막이 반송막 상에 부착된 상태에서 건식 분위기 하에서 탄소 함유 박막을 펠리클 프레임에 부착한다. 탄소 함유 박막이 펠리클 프레임에 부착된 상태에서 반송막을 탄소 함유 박막으로부터 분리한다.