产生用于材料处理的脉冲列的方法和系统

摘要

本发明提供产生用于材料处理的激光脉冲列的系统和方法。在一个实施例中，从连续波(CW)或准CW激光束产生高重复率的稳定激光脉冲列。所述激光脉冲列中的一个或一个以上激光脉冲可经整形以控制递送到目标材料的能量。在另一实施例中，多个激光束从单一激光脉冲、CW激光束或准CW激光束分配到多个处理头。在一个此类实施例中，单一光偏转器在各别处理头之间分配多个激光束。

主权项

一种用于使用多个激光束处理材料的激光处理系统，其包括：用于产生CW或准CW激光束的激光源；与所述激光源分离并位于其外部的声光调制器,其中所述声光调制器瞬时切削透过所述激光源所产生的所述CW或准CW激光束而产生第一激光脉冲列和第二激光脉冲列，所述声光调制器选择性地调整在所述第一激光脉冲列和所述第二激光脉冲列中的脉冲之间的CW分量；以及用于将所述第一激光脉冲列和所述第二激光脉冲列导向材料的目标位置的构件,其中所述声光调制器进一步配置成选择性地整形在所述第一激光脉冲列或所述第二激光脉冲列中的一个以上激光脉冲，以控制施加到所述材料的目标位置的激光能量的剂量，经选择的形状增加在所述激光能量和所述材料的所述目标位置之间的耦合效率。