研磨垫、研磨方法以及研磨系统

摘要

一种研磨垫、研磨方法以及研磨系统，研磨垫与载具环结合使用，用以研磨基材，在研磨时研磨垫具有运动方向，其中载具环具有至少一载具沟槽，基材具有基材半径，研磨垫包括研磨层以及位于研磨层中的表面图案，所述表面图案具有多条横向沟槽，横向沟槽的各切线与运动方向的切线具有非零度夹角，且横向沟槽对应于运动方向各具有横向沟槽轨迹，横向沟槽轨迹各具有轨迹宽度，此轨迹宽度小于基材半径。此外，在载具环相对于运动方向的前端区域，横向沟槽具有至少一载具相容性沟槽，至少一载具相容性沟槽与至少一载具沟槽的位置对准。

主权项

一种研磨垫，其与一载具环结合使用，用以研磨一基材，在研磨时该研磨垫具有一运动方向，其中该载具环具有至少一载具沟槽，该基材具有一基材半径，该研磨垫包括：一研磨层；以及一表面图案，位于该研磨层中，该表面图案具有多条横向沟槽，其中该表面图案还包括至少一分隔空白区，该至少一分隔空白区将所述横向沟槽分隔开来，使得所述横向沟槽彼此不连接在一起，所述横向沟槽的各切线与该运动方向的切线具有一非零度夹角，且所述横向沟槽对应于该运动方向各具有一横向沟槽轨迹，所述横向沟槽轨迹各具有一轨迹宽度，该轨迹宽度小于该基材半径，其中，在该载具环相对于该运动方向的一前端区域，所述横向沟槽具有至少一载具相容性沟槽，该至少一载具相容性沟槽与该至少一载具沟槽的位置对准。