固体摄像装置及其制造方法和电子装置

摘要

本发明涉及固体摄像装置及其制造方法和采用该固体摄像装置的电子装置。所述固体摄像装置包括：支撑基板，其包括凹部；固体摄像芯片，其结合在所述支撑基板上，以在所述固体摄像芯片的视角区域中密封所述凹部；应力膜，其形成在所述固体摄像芯片的表面上；及摄像面，在所述摄像面中，通过所述应力膜的应力，使所述视角区域向所述凹部一侧弯曲。在本发明中，通过弯曲视角区域，提高了视角区域的中心和摄像透镜系统的光学中心之间的重合精度，并增强了透镜像差的抑制。

主权项

一种固体摄像装置，其包括支撑基板，其包括凹部；固体摄像芯片，其包括视角区域和周边电路区域，并且所述固体摄像芯片结合在所述支撑基板上，以在所述固体摄像芯片的所述视角区域中密封所述凹部，其中所述凹部形成为对应于所述视角区域，并且所述视角区域是布置有所述固体摄像芯片的光接收像素的像素区域；应力膜，其形成在所述固体摄像芯片的表面上；及摄像面，在所述摄像面中，通过所述应力膜的应力，使所述视角区域向所述凹部一侧弯曲，其中，所述凹部处于真空状态，且通过真空与大气压之间的压差及所述应力膜的应力，使所述固体摄像芯片的所述视角区域弯曲。