有机层组成物以及形成图案的方法

摘要

本发明提供一种有机层组成物以及形成图案的方法，该有机层组合物包含热收缩率为10％到70％的第一化合物、热收缩率小于所述第一化合物的第二化合物以及溶剂；以及一种通过使所述有机层组成物固化获得的有机层以及一种使用所述有机层组成物形成图案的方法。可以提供同时确保耐蚀刻性和平面化特征的有机层。

主权项

一种有机层组成物，包括第一化合物，所述第一化合物的热收缩率为10％到70％，第二化合物，所述第二化合物的热收缩率小于所述第一化合物的热收缩率，以及溶剂，其中所述第一化合物的热收缩率及所述第二化合物的热收缩率通过以下方法计算：使1克化合物溶解于10克丙二醇单甲基醚乙酸酯中以制备组成物，将所述组成物涂布在经图案化的衬底上，分别在所述衬底的单元部分以及周围部分处测量经涂布膜厚度Tk1，在400℃下热处理经涂布的所述衬底2分钟以提供膜，以及分别在所述膜的单元部分以及周围部分处测量所述膜的厚度Tk2，以及分别通过计算公式1获得所述膜的单元部分以及周围部分处的各热收缩率，以及所述各热收缩率的算术平均值被视为所述化合物的热收缩率：[计算公式1]化合物的热收缩率＝(经涂布膜厚度Tk1‑固化后膜厚度Tk2)/(经涂布膜厚度Tk1)×100。