薄工件临时键合的加工方法

摘要

本发明公开了一种薄工件临时键合的加工方法，它包括载板、双面胶带和待加工的工件，所述双面胶带的两面均涂覆有紫外光固化胶，所述的工件和/或载板为透光材质制成，其特征在于：它还包括以下步骤：步骤1、将载板、双面胶带和工件依序堆叠，所述载板通过双面胶带与工件键合；步骤2、对工件进行加工处理；步骤3、紫外光通过透明的工件或载板照射于双面胶带上，用于固化双面胶带上的紫外光固化胶，并使紫外光固化胶的粘性降低；步骤4、将载板和工件解键合。本发明提供一种薄工件临时键合的加工方法，其工件和载板之间的键合过程和解键合过程简单，从而缩减了加工工序、提高了加工效率、降低了加工成本。

主权项

一种薄工件临时键合的加工方法，它包括载板(1)、双面胶带(2)和待加工的工件(3)，所述双面胶带(2)的两面均涂覆有紫外光固化胶，所述的工件(3)和/或载板(1)为透光材质制成，其特征在于：它还包括以下步骤：步骤1、将载板(1)、双面胶带(2)和工件(3)依序堆叠，所述载板(1)通过双面胶带(2)与工件(3)键合；步骤2、对工件(3)进行加工处理；步骤3、紫外光通过透明的工件或载板照射于双面胶带上，用于固化双面胶带(2)上的紫外光固化胶，并使紫外光固化胶的粘性降低；步骤4、将载板(1)和工件(3)解键合。