一种改变工件表面活性的清理设备

摘要

本实用新型公开了一种改变工件表面活性的清理设备，其包括依次设置的真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置，真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置之间通过传送装置进行工件的传送，真空碳氢清洗装置和真空干燥装置之间设置有真空回收装置，气相清洗装置包括气相清洗槽、气体供应装置、射频电源以及真空泵，气体供应装置和真空泵均与气相清洗槽管道连接，而射频电源的连接端进入气相清洗槽内部，气相清洗槽上设置有接地线。由于通过射频电源使气体供应装置中的气体形成高速撞击的离子，并撞击工件表面的污染物，使污染物脱离，由于离子的高速运动，使工件表面的活性发生改变，从而提高工件表面的吸附性，便于后续加工。

主权项

一种改变工件表面活性的清理设备，其特征在于：包括依次设置的真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置，所述真空碳氢清洗装置、真空干燥装置以及气相清洗装置之间通过传送装置进行工件的传送，所述真空碳氢清洗装置和真空干燥装置之间设置有真空回收装置，所述气相清洗装置包括气相清洗槽、气体供应装置、射频电源以及真空泵，所述气体供应装置和真空泵均与气相清洗槽管道连接，所述射频电源的连接端进入气相清洗槽内部，所述气相清洗槽上设置有接地线。