发明名称 | 一种大直径石英坩埚的承重埚托 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种大直径石英坩埚的承重埚托。其包括底托和埚壁护圈;底托的材质为石墨,形状为轴对称的形状,底托的底面的中部为水平支撑面,水平支撑面的周边连接一个圆锥面,圆锥面的母线与水平支撑面之间的角度为20°~30°,底托的顶面为与所述的石英坩埚的底面形状相配合的形状,底托的周边设置有用来与埚壁护圈连接的凹槽;埚壁护圈的材质为碳碳复合材料,形状为上下方向的圆管形状,圆管的内径尺寸与所述的石英坩埚的外径尺寸相匹配;埚壁护圈的底部安装在底托的周边的凹槽中。本实用新型提供了一种用于拉晶生产中的大直径石英坩埚的承重埚托。 | ||
申请公布号 | CN205803631U | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
申请号 | CN201620664510.3 | 申请日期 | 2016.06.29 |
申请人 | 宁晋晶兴电子材料有限公司 | 发明人 | 李广哲;焦鹏;陶建涛;赵聚来 |
分类号 | C30B15/10(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/10(2006.01)I |
代理机构 | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人 | 王文庆 |
主权项 | 一种大直径石英坩埚的承重埚托,其特征在于:包括底托(1)和埚壁护圈(2);底托(1)的材质为石墨,形状为轴对称的形状,底托(1)的底面的中部为水平支撑面(3),水平支撑面(3)的周边连接一个圆锥面(4),圆锥面(4)的母线与水平支撑面(3)之间的角度为20°~30°,底托(1)的顶面(5)为与所述的石英坩埚的底面形状相配合的形状,底托(1)的周边设置有用来与埚壁护圈(2)连接的凹槽;埚壁护圈(2)的材质为碳碳复合材料,形状为上下方向的圆管形状,圆管的内径尺寸与所述的石英坩埚的外径尺寸相匹配;埚壁护圈(2)的底部安装在底托(1)的周边的凹槽中。 | ||
地址 | 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号 |