移除晶片上之聚合物的方法以及于内连线制程中移除聚合物的方法

摘要

一种移除晶片上之聚合物的方法，晶片上已形成有开口，晶片上用来形成此开口的图案化光阻层已于本方法进行之前被移除。此方法是进行电浆清洗制程，用以移除晶片表面之聚合物，其中，电浆清洗制程所使用的电浆产生气体包括含氢气体。