一种平板电极光学谐振腔

摘要

本实用新型公开了一种平板电极光学谐振腔，包括谐振腔壳体（1），所述谐振腔壳体（1）的两端开口处分别安装前端板（4）和后端板（7）且三者构成了一个密封的谐振腔内腔（10），在谐振腔内腔（10）中上下平行设置上平板电极（2）和下平板电极（3），上平板电极（2）与谐振腔壳体（1）上设置的射频馈头（9）连接且下平板电极（3）接地，当射频信号通过射频馈头（9）施加到上平板电极（2）时，上平板电极（2）对下平板电极（3）放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电后形成激光等离子体。本实用新型的放电效率高、激光功率大、散热性能好且运行稳定，满足实际生产中对更大功率激光器的要求，故适宜推广使用。

主权项

一种平板电极光学谐振腔，包括内部中空两端开口呈长方形腔体的谐振腔壳体（1），其特征在于：所述谐振腔壳体（1）的两端开口处分别安装前端板（4）和后端板（7）且三者构成了一个密封的谐振腔内腔（10）用于充入激光工作气体，在谐振腔内腔（10）中上下平行设置上平板电极（2）和下平板电极（3），上平板电极（2）与谐振腔壳体（1）上设置的射频馈头（9）连接且下平板电极（3）接地，当射频信号通过射频馈头（9）施加到上平板电极（2）时，上平板电极（2）对下平板电极（3）放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电，从而形成激光等离子体后在谐振腔内腔（10）中来回反射振荡放大后经激光输出镜输出该谐振腔外。