金属-绝缘物-金属的变压器及其制造方法

摘要

一种金属-绝缘物-金属的变压器之制造方法，其适用于同时形成一金属-绝缘物-金属电容器与变压器。此制造方法为，先提供已形成有至少一介电层之一基板。然后，于基板上形成图案化之金属-绝缘物-金属电容器的第一金属层，且同时形成变压器的第一金属线圈。接着，形成一绝缘层，以覆盖基板、第一金属层与第一金属线圈。之后，于绝缘层上形成图案化之金属-绝缘物-金属电容器的第二金属层，且同时形成变压器的第二金属线圈。