| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT DEVICE FOR PRODUCING COATINGS |
| 摘要 |
본 발명은 외부 대기압으로부터 밀폐된 플라즈마 구역을 이용하여 층을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 장치는 컨테이너 수용 수단 형태의 기판 캐리어를 포함하는 플라즈마 반응기, 및 리프팅 장치에 의해 기판 캐리어와 결합되는 폐쇄 요소를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101684728(B1) |
申请公布日期 |
2016.12.08 |
| 申请号 |
KR20137021592 |
申请日期 |
2012.01.17 |
| 申请人 |
쇼오트 아게 |
发明人 |
비커 마티아스;로마이어 만프레트;바우흐 하르트무트 |
| 分类号 |
H01J37/32;A61M5/31;B05D1/00;B05D3/14;B05D7/22;C03C17/00;C03C17/28;C23C16/04 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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