摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf eine elektrische Messanordnung zur Kraft- und/oder Druckmessung an einer Abstützeinrichtung, wie sie insbesondere durch einen Abstützzylinder an Arbeitsmaschinen gebildet wird. Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin eine Abstützeinrichtung mit einer derartigen Messanordnung. Der wesentliche Aspekt der Erfindung ist darin zu sehen, eine elektrisch Messanordnung zur Kraft- und/oder Druckmessung an einer Abstützeinrichtung vorzuschlagen, umfassend wenigstens ein Sensorelement mit einer ersten und zweiten, jeweils aus einem massiven Material gebildeten und parallel zueinander angeordneten Substratschicht, wobei an einer jeweils aufeinander zugewandten Oberflächenseite der entsprechenden Substratschicht jeweils zumindest teilflächig eine dielektrische Isolationsschicht vorgesehen ist, zwischen der eine Messstruktur aufgenommen ist, die zumindest teilweise aus einem piezo-resisitiven Material gebildet ist, wobei ein erstes und zweites Trägerelement vorgesehen sind, zwischen welchen das wenigstens eine Sensorelement unter einer Vorspannkraft angeordnet ist, und wobei mittels des ersten und/oder zweiten Trägerelementes die Vorspannkraft sowie eine zu messende Kraft auf das wenigstens eine Sensorelement derart eingeleitet wird, dass die Vorspannkraft lotrecht auf wenigstens eine der beiden zueinander abgewandten Oberflächenseiten der entsprechenden Substratschicht wirkt. |