リソグラフィ方法およびリソグラフィ装置

摘要

【課題】像補正方法を提供する。【解決手段】光学系により形成される光学像を補正する方法である。この方法は、光学系の像平面における空間位置ごとに光学系の瞳面にわたる光学系の偏光依存特性を示すマップを取得することと、光学系の偏光依存特性を示すマップと、入力放射ビームの強度および偏光の放射マップとを組み合わせて、像マップを形成することと、像マップを用いて、光学系を通過するよう入力放射ビームを方向付けることにより形成される光学像を補正することと、を備える。【選択図】図２