Kapazitive Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Eigenschaft

摘要

Eine kapazitive Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Eigenschaft enthält einen Sensorteil, eine Steuerschaltung und eine CV-Wandlungsschaltung. Der Sensorteil umfasst eine bewegliche Elektrode, eine erste fixe Elektrode und eine zweite fixe Elektrode. Die CV-Wandlungsschaltung ist konfiguriert, um eine Referenzspannung zu empfangen und eine Spannung in Entsprechung zu einer Kapazitätsänderung auszugeben. In einer ersten Zeitperiode legt die Steuerschaltung ein erstes Signal an der ersten fixen Elektrode an und legt ein zweites Signal, dessen Phase zu derjenigen des ersten Signals entgegengesetzt ist, an der zweiten fixen Elektrode an. In einer zweiten Zeitperiode legt die Steuerschaltung die Referenzspannung an der ersten fixen Elektrode an und legt das zweite Signal an der zweiten fixen Elektrode an.