| 摘要 |
본 발명은 내부에 반응 공간을 형성하는 반응기 몸체; 상기 반응기 몸체의 상부에서 제1 반응가스를 하향식으로 공급하도록 이중관으로 형성되어, 내관으로 제1반응가스를 공급하고 외관으로 베리어가스를 공급하는 제1공급노즐; 및 상기 반응기 몸체의 상부에서 제2 반응가스를 하향식으로 공급하도록 이중관으로 형성되어, 내관으로 제2반응가스를 공급하고 외관으로 베리어가스를 공급하는 제2공급노즐;을 포함하며, 상기 제1공급노즐과 제2공급노즐은 쌍을 이루며 미리 설정된 이격 간격(d1)만큼 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 질화규소 분말 제조장치를 제공한다. |
