単結晶成長装置

摘要

実施例は、チャンバー、前記チャンバーの内部に設けられ、単結晶成長原料である溶融液を収容するるつぼ、前記るつぼの上端に配置されるるつぼスクリーン、及び前記るつぼスクリーンを上昇または下降させる移送手段を含み、前記るつぼスクリーンと前記第１上側断熱部を上昇することで行程距離を調節することができ、行程距離不足に起因するリフトオフ工程の不可能、及び単結晶のクラック発生を防止することができる。【選択図】 図１