发明名称 搬送装置和搬送方法
摘要 本发明提供一种搬送装置和搬送方法,在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时,能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送,该搬送装置的特征在于,包括:驱动单元,利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转,从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动,使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动;和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元,搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值,基于所检测的转矩值,计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值,并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。
申请公布号 CN103177992B 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201210487648.7 申请日期 2012.11.26
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 牧准之辅;矢野光辉;中野征二;渡边刚史;丰田康典;榎木田卓;饭田成昭;原田浩树
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种搬送装置,其将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送,该搬送装置的特征在于,包括:驱动单元,其通过利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转,从而使架设于该驱动侧传动轮的传动带移动,从动侧传动轮对应于该传动带的移动而旋转,使连结于该传动带的所述被驱动单元在规定的方向上移动;和对所述被驱动单元的搬送状态进行监视的搬送监视单元,所述搬送监视单元检测使所述被驱动单元移动所需的所述电机的转矩值,基于所检测出的所述转矩值,计算该转矩值的相对时间的转矩微分值,利用所计算出的所述转矩微分值,并利用将所述电机的旋转动作与所述从动侧传动轮的旋转动作进行比较的比较结果、或将所述驱动侧传动轮的旋转动作与所述从动侧传动轮的旋转动作进行比较的比较结果,检测所述搬送状态。
地址 日本,东京都
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