光学检测方法、光学检测装置以及光学检测系统

摘要

本发明提供一种光学检测方法、光学检测装置以及光学检测系统，其中光学检测方法包括：获得裂纹分布信息；区分出裂纹分布信息中的分支裂纹、分叉裂纹；判断主裂纹；判断破碎源所在位置。光学检测装置包括成像模组、图像处理模、分析模组；分析模组包括特征分析单元、主裂纹提取单元以及方向判断单元。光学检测系统包括上述光学检测装置。本发明的有益效果在于，可以代替人工对破碎基板进行检测，进而找出破碎基板的破碎源，相对于人工检测的方式效率更高，且检测结果相对更为准确；此外，这种方式可以应用于更多的场景，包括一些不便于人工检测的环境。

主权项

一种光学检测方法，用于检测破碎透光基板的破碎源，其特征在于，包括：获取透光基板的检测图像；对所述检测图像进行处理，以获得裂纹分布信息；对所述裂纹分布信息进行特征分析，以区分出裂纹分布信息中的分支裂纹以及由分支裂纹或者主裂纹衍生出的分叉裂纹；去除所述分叉裂纹；基于分支裂纹的分支角度，判断出裂纹分布信息中包含的主裂纹；获得所述主裂纹的收敛方向，并根据主裂纹的收敛方向判断破碎源所在位置。