送丝型电子束增材制造设备

摘要

本实用新型公开一种送丝型电子束增材制造设备，其电子枪还进一步装设了偏扫装置和二次电子接收装置，偏扫装置和二次电子接收装置与控制单元连接；当电子枪发出的电子束加工完工件一固定段的制造层后，由控制单元控制偏扫装置的励磁电流，使得电子枪的电子束回头快速扫描该固定段的制造层，二次电子接收装置将回扫过程中接收到的二次电子信号传送到控制单元，由控制单元同步记录该固定段上各扫描点二次电子信号；扫描结束后，控制单元对记录的二次电子信号数据进行分析处理，判断该固定段的制造层的边缘是否达到希望值，以及判断该固定段的制造层是否存在空洞缺陷，以便及时进行修补。

主权项

送丝型电子束增材制造设备，包括中央控制单元(1)、电源系统、送丝系统、冷却液循环系统、抽真空系统、真空室(6)、运动装置(7)、电子枪(8)、走线槽(9)和工作台(10)；中央控制单元(1)、电源系统、送丝系统的室外部分、冷却液循环系统、抽真空系统设置在真空室(6)外部，送丝系统的室内部分、运动装置(7)、电子枪(8)、走线槽(9)和工作台(10)设置在真空室(6)的内部；其特征在于：电子枪(8)还进一步装设了偏扫装置(81)和二次电子接收装置(82)，偏扫装置(81)和二次电子接收装置(82)通过电源装置(21)与中央控制单元(1)连接；当电子枪(8)发出的电子束(83)加工完工件(11)一固定段的制造层(12)后，由中央控制单元(1)控制偏扫装置(81)的励磁电流，使得电子枪(8)的电子束(83)回头快速扫描该固定段的制造层(12)，二次电子接收装置(82)将回扫过程中接收到的二次电子信号传送到中央控制单元(1)，由中央控制单元(1)同步记录该固定段上各扫描点二次电子信号；扫描结束后，中央控制单元(1)对记录的二次电子信号数据进行分析处理，判断该固定段的制造层(12)的边缘是否达到希望值，以及判断该固定段的制造层(12)是否存在空洞缺陷，以便及时进行修补。