一种多晶硅铸锭炉加热器

摘要

本申请公开了一种多晶硅铸锭炉加热器，包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器，所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接，所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体，每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热部，且所述U型加热部的位于两侧的一边与相邻的另一个加热器单体的U型加热部的一边无缝连接。本申请提供的上述多晶硅铸锭炉加热器，实现硅锭四个角处受热加强，使硅锭和坩埚侧面受热均匀，减小硅锭和坩埚上端和下端之间的温差，降低坩埚受到的热冲击，避免坩埚破裂损失，并保证硅锭生长时具有平坦的固液界面，利于排出杂质和降低应力，以提高硅锭生长质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉加热器，包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器，所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接，其特征在于，所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体，每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热部，且所述U型加热部的位于两侧的一边与相邻的另一个加热器单体的U型加热部的一边无缝连接。