抽空室

摘要

公开了一种用于降低由真空泵吸系统产生的非期望的噪声的方法及设备。真空系统操作以将室中的压力降低至第一压力值。然后，系统检测真空泵系统进口处的压力即将变为第二较高压力，且作为响应，真空泵系统中的增压泵的速度降低到低于泵的额定速度。当真空泵进口处的压力高于第二压力时，增压泵的速度增大至额定速度。因此，增压泵在泵系统变为暴露于进口压力的快速增大之前减慢。已经发现这将噪声水平降低到更可接受的水平。

主权项

一种降低由真空泵吸系统产生的噪声的方法，所述真空泵吸系统操作以抽空室，所述方法包括以下步骤：以额定速度操作所述真空泵吸系统以将室压力降低至第一真空压力；确定步骤：确定所述真空泵吸系统的进口处的压力即将变为高于所述第一真空压力的第二压力；响应于所述确定步骤，将所述真空泵吸系统中的增压泵的速度降低至低于所述额定速度的第二速度；并且然后当所述真空泵吸系统的进口处的压力高于所述第二压力时，将所述增压泵的速度增大至所述额定速度。