一种防损伤的激光清洗装置

摘要

本发明涉及一种防损伤的激光清洗装置，包括激光器、光束整形系统、扫描振镜系统、聚焦系统和控制系统，由所述激光器出射的激光束依次通过所述光束整形系统和扫描振镜和聚焦系统聚焦在待清洗工件表面，所述控制系统控制所述激光器和扫描振镜系统实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作；所述光束整形系统用于将入射的高斯光束先整形为平顶光束再进行匀束变换，使激光边缘更加锐利且光强更加均匀，使用经变换的激光束可清洗物体表面而不造成损伤；所述检偏单元可隔离被激光表面反射的激光，避免反射的激光损伤光学器件。

主权项

一种防损伤的激光清洗装置，包括激光器(1)、光束整形系统(2)、扫描振镜系统(3)、聚焦系统(4)和控制系统(5)，由所述激光器(1)出射的激光束依次通过所述光束整形系统(2)和扫描振镜(3)，再通过所述聚焦系统(4)聚焦在待清洗工件(6)表面，所述控制系统(5)控制所述激光器(1)和扫描振镜系统(3)实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作；其特征在于：所述光束整形系统(2)包括扩束单元(21)、平顶光束变换单元(22)和匀束光束变换单元(23)；所述扩束单元(21)和平顶光束变换单元(22)用于将入射的高斯光束整形为平顶光束；所述匀束光束变换单元(23)用于将入射的激光束进行匀束。