功率金氧半场效电晶体布局结构

摘要

一种分枝式之功率金氧半场效电晶体布局结构，包括基座与多个金氧半场效电晶体晶胞。各金氧半场效电晶体晶胞包括长条形之基部及多个分枝部。分枝部系从基部之侧边延伸，使得形成光阻图案时，可以使多个基部上覆盖之光阻图案相连，增加光阻之覆盖面积，以减少光阻剥落之机会。