光照射装置

摘要

一种光照射装置，即使在灯室上产生扭曲，其可使这种扭曲力不会加到灯体上从而防止破损，而且，灯的位置维持固定，从而保持灯的放电容器的面和精密清洗用的玻璃基板等表面的距离一定。主要构成是作为支持部的其中一方可转动地支撑灯，另一方被限制转动地支撑灯。