模铸溅镀靶材

摘要

本发明有关于模铸溅镀靶材及利于形成模铸溅镀靶材之方法及装置。将用于铸造一溅镀靶材的材料在一坩埚中融化、倒入一压模中并使其冷却以形成溅镀靶材。压模利用加热的侧壁及一冷基底来促进从下往上的固体化作用，并使一靶材具有均匀的顶部固体介面性传播。可利用此模铸溅镀靶材形成微机电元件中之诸层体。